真空镀膜机扩散泵冷却冷水机(解决掉镀膜机温度问题,扩散泵还有长远的发展前景)
由于扩散泵具有极限真空度高、抽速大、抽气范围宽、结构简单、维护方便、没有运动部件等优点,使得扩散泵还有长远的应用前景,还有研究发展的空间。根据上述分析,预计发展方向应该是解决扩散泵耗能高、有返油、自动化程度低、理论不能指导设计等缺点。1节能型扩散泵的研究扩散泵的高效节能,应该在加热器上下功夫。加热器主要有内加热器和外加热器两种。需要统一认识的是内、外加热器的定义,我们认为:应该以泵壁(泵底)为界
发布时间: 2025-11-28 09:46:18