SHIWEI是维小型磁控溅膜镀膜仪是一款小型磁控溅射镀膜仪，主要特点是设备体积小，结构简单紧凑易于操作，对实验室供电要求低；该系列设备主要部件采用进口或者国内最优配置，从而提高设备的稳定性；另外自主开发的智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。

SHIWEI是维小型磁控溅膜镀膜仪它标配2只Φ2英寸永磁靶，一台 500W 直流溅射电源（用于溅射金属导电材料），1 台 300W 全自动匹配射频溅射电源（用于溅射绝缘材料），主要用来开发纳米级单层及多层的金属导电膜、半导体膜以及绝缘膜等。

SHIWEI是维光电是一家国家高新技术企业，围绕先进电子材料器件基础研究、科研创新和产业技术应用，研发材料器件工艺设备及光机电智能化装备。SHIWEI是维已经和清华北大、哈工大，武汉大学，复旦大学等众多高校，中科院物理所等科研院所、工矿企业取得合作。

二、设备主要技术参数

Ф250×260mm（具体尺寸以设计为准）），不锈钢材质，氩弧焊接

Ф100mm，高度：60～120mm 可调，旋转：0-20r/min 可调，可加热至300℃；可选配偏压清洗功能；

机械泵（3L/S）+分子泵(60L/s)；GDC-25电磁挡板阀；DN63mm 限流阀；

8.0×10-5Pa；

大气～8×10-4Pa ≤ 30min；

全量程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa；

Φ2 英寸 2 只（含靶挡板），兼容直流/射频电源溅射；

1 台 500W 直流溅射电源，1 台 300W 全自动匹配射频溅射电源；

质量流量计

10sccm、50sccm 质量流量控制器各1套；

国产膜厚仪；可选配进口Inficon SQM-160单水冷探头膜厚仪，测量精度0.1?

PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障

L60cm×W60cm×H85cm 机电一体化机架，预留1个 CF35 法兰接口；

三、设备主要配置表

型号/参数

品牌/生产厂家

Ф250×260mm，1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢

SHIWEI是维

67L/s，1.0E-05Pa

Pfeiffer等

TRP-12,3L/S

全量程真空规

Ф2 英寸永磁靶（含靶挡板）

SHIWEI是维

500W 直流溅射电源

SHIWEI是维

300W 全自动匹配射频溅射电源

10sccm/50sccm

WARWICK

PLC+触摸屏智能控制系统

SHIWEI是维

icooler-1003

SHIWEI是维

GDC-25b 电磁挡板阀

GDC-25b 电磁挡板阀

DN63mm

SHIWEI是维

Φ6mm，电磁截止阀

Φ6mm，电磁截止阀

可拆卸式，尺寸60×60mm，旋转：0-20r/min可调；基片可加热至300±1℃（选配）；

SHIWEI是维

波纹管、真空管道等

SHIWEI是维

机电一体化

SHIWEI是维

CF35 法兰一个

SHIWEI是维

CF35 铜垫圈及氟密封圈全套等

SHIWEI是维

四、选配产品（可选部件，另外单独报价计价）

型号/参数

1.5KV

膜厚监测仪

SQM-160单水冷探头

英福康Inficon

膜厚测量及控制

膜厚仪探头接口从腔室KF50 法兰引入；晶振探头安装在靠近基片台附近，用以实时监测镀膜速率和终厚，精度可达±0.1?。具备与电源联锁控制功能，若镀膜达到设置厚度，可自动切断电源，停止镀膜，实现自控膜厚。

NFICON SQM-160 晶振膜厚仪+单探头

在大型系统中，传感器输入可以分配给不同材料，采集的数据通过平均值，以达到更精确的沉积控制；也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中，为了延长传感器的使用寿命，速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择 0.1? /s 还是 0.01 ?/s 的速率显示模式。还可以选择频率或质量显示模式。SQM-160 的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。

数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM-160 石英晶体监测仪采用了 RS-232 接口和 Windows 窗口软件，可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数，包括仪器操作和保留程序数据到特定的 Excel 文档。同时，USB 或以太网选项也添加通信协议中，以最大程度方便不同用户。

产品特点：

双通道（标准型），四通道可选沉积速率/膜层厚度模拟输出高精度：0.03Hz at 10 个读数/sRS-232 接口，USB 或以太网可选

五、设备主要优势

设备集成度高，结构紧凑，占地面积小，可以放置于实验桌面上或者手套箱内；

自主研发的水冷式高温电阻蒸发源可以蒸镀一些熔点高的难熔金属，比如Ti，

设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接线及安装调试简单，既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁性；

设备可将主机置于手套箱内，水、电、气等通过 KF40 接口接到手套箱外， 与手套箱的对接灵活方便；

设备工作电压为 220V，整机功率小于 2KW，对实验室的供电要求低；

设备主要零部件采用进口或国内知名品牌，保证了设备的质量及稳定性；

独立开发的 PLC+触摸屏智能操作系统，具有智能控制模式和调试维修模式；

控制系统具备漏气自检与提示功能，当设备漏气时，系统会自动提示设备漏气，以便用户进行检漏，保证设备正常稳定运行；

控制系统具备保养维护提示功能，当设备运行达到一定时长，系统会自动提示设备需要维护保养，以便用户及时进行维护，保证设备正常稳定运行；

控制系统具备通讯故障自检功能，系统对分子泵、溅射电源、真空规、电机、流量计等部件的通讯进行自检，如果某个部件出现故障，可以按照系统中的各部件故障查询办法进行查询，及时确认故障原因，保证设备安全；

控制系统具备数据记录与导出功能，控制系统记录设备的操作记录及镀膜过程数据，可以在系统中查看这些数据，也可以用 U 盘导出这些数据；

该系统具备三个等级级密码保护功能，不同等级不同使用权限，确保设备

的安全性和数据的保密性；

六、设备安装条件（用户自备）

设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；

插座距离设备尺寸≤2m；

其它：如用户选配其它选购件，用户自行准备增配件的供电要求，不在安装条件范围内；

设备需水冷的部件有蒸发电极、膜厚仪探头；

水压 0.2～0.4MPa，水温 10～25℃；

安装场地要求

设备尺寸为：长×宽: L60cm×W60cm，建议安装场地尺寸≥L60cm×W80cm。

环境温度：5～40℃；

环境湿度：＜85%R.H；

室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体；

七、售后服务承诺、安装调试验收、培训、文档资料

产品质保期为一年；

在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏；

在质保期外设备零部件的损坏，提供的配件只收成本费；

安装调试验收

我公司负责将设备初验收合格后，包装好免费运送至客户所在地，经检验后拆封，供方开始安装调试，运输费用及安装调试费用我司负责；

我公司根据客户要求，负责组织专业人员对设备进行安装调试，客户需提供基本的安装条件和专人配合，以确保安装调试的顺利进行；

设备安装调试到位后，双方组织验收，并对验收单进行验收签字；

我公司向客户提供的设备资料包括：设备说明书、验收单、装箱单、产品合格证、备品备件清单；

我公司在客户安装现场进行的设备验收发生的一切费用由我司承担；

我公司派技术工程师对客户人员在设备安装调试时进行技术培训。使需方人员能掌握有关设备的使用、维护，达到能独立进行操作、维护等的目的。

培训地点为客户设备使用现场，培训人数不少于 2 人，培训时间根据实

际情况而定，培训费用由我司承担；

设备操作、维护使用说明书 1 套；

设备电气原理图 1 套；

设备出厂合格检验证明。

八、成功案例

部分业绩案例

中国工程物理研究院，华中科技大学，湖南大学，南京工业大学，南京大学，深圳大学，深圳技术大学，湖南工学院，大连理工大学，青岛大学，南方科技大学，上海科技大学，哈尔滨工业大学（深圳），安徽大学，电子科技大学，吉林大学，天津大学，西湖大学，北京高压科学研究中心，浙江大学，郑州大学，上海台达电子科技，深圳六碳科技，新加坡南洋理工大学，中科院深圳先进院，中科院纳米所，北京服装学院等

科力达15年专注于工业冷水机研发、生产与服务，根据各种工业生产加工设备特点研制精密冷水机，性能稳定，操作简单，高效节能。广泛应用于以半导体，CO2 ，YAG，光纤等为工作介质的激光加工设备。以及应用于其它工业方面：如医药、生物、化工、食品、饮料、塑胶、电子、纺织、化纤、电镀、超声波、机械加工、特种铸造、焊接、造纸、复合材料、水处理、印刷等行业。咨询冷水机>>>www.kldjm.com