在芯片光刻、激光切割等精密制造场景中，设备核心部件（如激光发生器、光学镜片）的热变形会导致微

米级加工误差。那么激光冷水机控温要求也是比较严格的，行业标准要求：

一、芯片生产激光冷水机要求

温度稳定性：激光器大小功率不同，但是芯片生产领域通常要求20℃，控温精度±0.1℃波动范围，确保分

子结构稳定

水质纯净度：需达到ISO 5级超纯水标准，防止管路结垢

响应速度：温控系统需在30秒内补偿100W/cm²的热负荷

二、激光冷水机的控温核心技术

（1）闭环恒温系统架构

双级PID控制：通过高精度传感器（±0.05℃）与变频压缩机联动

科力达激光冷水机采用松下压缩机、ebm风扇省心耐用，高效制冷还节能

热交换优化：采用钛合金板式换热器，温差控制在0.3℃以内

防污染设计：配备5μm+0.1μm两级过滤，金属离子含量＜1ppb

（2）典型应用场景对

三、行业发展趋势与选型建议

随着5nm芯片制程普及，新一代冷水机需满足：

智能预测维护：通过AI算法预判换热效率衰减

节能设计：采用松下压缩机降低10%能耗

模块化扩展：支持多机并联满足200kW以上冷却需求

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采用闭环控温系统后，光刻机套刻精度提升至1.2nm，良品率提高8.7%。科力达15年专注于激光冷水机研

发，为激光设备生拆加工提供激光切割冷水机、激光打标冷水机、激光焊接冷水机等，可按照特殊设备工

况进行非标定制变频冷水机、高低温冷水机组，保障生产可持续。